¿¿ cuál es el mejor pulido químico - mecánico totalmente automático?

Visión general:

La máquina de pulido químico - mecánico CP - 6 de Rtec estudia y caracteriza el proceso CMP de una manera profesional. Además de pulir obleas y sustratos, el probador también está equipado con un perfilador de superficie en línea. Esta combinación proporciona información sobre las causas y formas de los cambios en la superficie, la fricción, el desgaste, etc. El probador también puede medir varios parámetros intrínsecos, como fricción, rugosidad de la superficie, cantidad de desgaste, etc., para comprender el proceso en detalle.

Características:

1. el microscopio 3D confocal integrado puede caracterizar la superficie de la almohadilla de pulido con una resolución de nm;

2. la fricción interna y las emisiones acústicas estudian el proceso de pulido;

3. sensores de temperatura en línea;

4. se pueden instalar varios tamaños de obleas;

5. presión y velocidad de bajada controlables.

El estándar está equipado con plataformas x, y para mover la placa de presión entre las posiciones de pulido e imagen. Además, la plataforma XY ayuda a oscilar las obleas durante el proceso de pulido. El uso de una placa de presión con una unidad XY permite una combinación de unidades multieje para crear movimientos personalizados para simular condiciones de prueba cercanas al entorno de producción real.

Sensores conectados:

1. el sensor de par incorporado de alta resolución puede lograr la localización del punto final y caracterizar la superficie en tiempo real;

2. señales acústicas - sonoras que permiten puntos finales cualitativos o ayudan a detectar fragmentos y defectos durante el pulido;

3. el monitoreo de temperatura en línea de la almohadilla de temperatura y las áreas cercanas a la superficie pulida de la obleas ayuda a estudiar el mecanismo de eliminación.

Carga y velocidad programables:

Para optimizar el proceso, el CP - 6 permite el uso de software basado en fórmulas para controlar y cambiar la fuerza, la velocidad y la velocidad de flujo.

Fácil de usar:

El medidor de fricción está equipado con un portador de cambio rápido, que puede instalar fácilmente obleas y almohadillas. El software viene con fórmulas estándar de prueba predefinidas o puede crear fácilmente nuevas fórmulas personalizadas.

Perfilador 3D integrado en línea:

La máquina de pulido químico - mecánico rotec está equipada con un perfilador 3D integrado en línea. Después de la optimización, se puede caracterizar la superficie de la almohadilla de pulido con resolución de nm. El detector está equipado con modo confocal + modo interferómetro + campo oscuro y modo de campo brillante. Esto permite estudiar la relación entre los cambios superficiales y el tiempo a una resolución de nm. El probador permite la autosutura en grandes superficies para cálculos de desgaste por volumen y rugosidad.