Producción del controlador de flujo de masa de gas de suministro S - 300

Resumen

alto rendimientoMFCAdaptado a la industria de semiconductores

S300Serie de Controladores digitales de flujo de masa/.Medidor de flujo: se utiliza un excelente sensor de flujo de clase industrial desarrollado independientemente por la compañía, combinado con una estructura de circuito de gas pulido fino y circuitos y algoritmos de control digital de alta precisión para lograr un control de alta precisión, baja deriva cero y alta repetibilidad. El producto está equipado con pantallas de visualización de campo e interruptores de Codificación de direcciones, una variedad de métodos de comunicación son opcionales, se pueden personalizar sellos metálicos completos, adaptados a semiconductores, recubrimiento al vacío, fotovoltaica y otros entornos de aplicación.

Principales ventajas

S1Los módulos funcionales físicos son ricos

La configuración superior tiene abundantes módulos funcionales:

* RJ45Interfaz de comunicación digital(personalizable

EtherCAToRS485Acuerdo(...)

* Interruptor de Codificación de dirección

* Pantalla de visualización en vivo

* Indicador de Estado

Además, la configuración lateral tieneM8La interfaz de suministro de energía aeronáutica tiene una visualización intuitiva y una operación simple, lo que facilita a los usuarios monitorear y controlar el flujo en el sitio.

S2Respuesta rápida

1.5msTiempo de respuesta del sensor,0,1 ~ 0,5 segundosEl tiempo de respuesta del sistema de instrumentos capta pequeños cambios de flujo a tiempo.

S3Alta precisión

2,0%PorcentajeF.S.La Sección de rango completo mantiene una alta precisión:

0,3% de F.S.≤30% F.S.)V;1,0% de S.P.>30% F.S.)

S4Equipado con un ordenador superior especial

Equipado con potenteProceso inteligenteEl software de la computadora superior admite múltiples enlaces para facilitar el monitoreo y la configuración del equipo.

S5Productos certificados

a través deTÜVInstituciones internacionalesCE y EMCCertificación, oJLYCertificado de calibración de primer nivel, etc., que cumple con variosSEMIEstándar.

Especificaciones del producto

* A menos que se indique lo contrario, este producto está calibrado en las siguientes condiciones: nitrógeno, temperatura25℃、2,5 barPresión diferencial(Entrada de aire3.5barSalida de aire a presión absoluta1 bar

Presión absoluta(...). instalación de colocación horizontal.

* Se recomienda instalar un segmento recto de tamaño adecuado en el extremo de entrada, de lo contrario puede causar una desviación de la precisión.

* Se recomienda que las conexiones lo más grandes posible coincidan en el extremo de entrada y salida para evitar pérdidas de presión adicionales.

1 El rango mostrado es un rango opcional de nitrógeno.

2 % de F.S.El error del dedo representa el porcentaje del rango completo.

3 % de P.S.Se refiere al porcentaje de error en el valor establecido.

4 El tiempo de respuesta se refiere a alcanzar el valor establecido.2%El tiempo necesario dentro.

5 La presión de trabajo se refiere a la entrada y salida de aire.(1 bar)Presión absoluta(...)Para más detalles, Póngase en contacto con nosotros.

Dimensiones y comunicaciones