El controlador de flujo de masa de gas de la serie Qingdao Core Sheng FC - S500 utiliza un excelente chip de sensor de flujo de clase industrial desarrollado independientemente por la compañía, con un diseño de canal de gas * para lograr una configuración flexible de la relación de desviación, el rango de medición cubre 1sccm a 120slm, la precisión mínima de control Es de 0,1 sccm, y la deriva del rango de temperatura de 0 a 50 grados Celsius es de solo 0,4 a 0,6%. En términos de señales eléctricas, ofrece una variedad de métodos de control digitales y analógicos, y está equipado con pantallas industriales para facilitar la puesta en marcha y configuración in situ de los clientes.
La nueva generación de chips de sensores de flujo de grado industrial y la excelente estructura de la ruta de gascombinar
Controlador de flujo de masa digital: adopta un excelente chip de sensor de flujo de clase industrial desarrollado independientemente por la compañía, que combina la estructura del Circuito de gas de baja tensión y los circuitos y algoritmos de control digital de alta precisión para lograr un control de alta precisión, alta estabilidad y amplia relación de alcance en un amplio rango de temperatura. El producto está equipado con una pantalla de puesta en marcha in situ y una interfaz de suministro de energía independiente, adecuada para semiconductores, recubrimiento al vacío, fotovoltaica y otros entornos de aplicación.

Basado en la teoría propuesta por el científico Thomas de que "la cantidad de calor absorbido o liberado por el gas es proporcional al flujo de masa del gas". Cuando no hay flujo de aire, el campo de temperatura centrado en Header se distribuye simétricamente; Cuando hay flujo de aire, la distribución del campo de temperatura se desvía, lo que resulta en una diferencia de temperatura aguas arriba y aguas abajo. al medir esta diferencia de temperatura, se puede calcular el flujo de masa de gas que fluye a través de la superficie del chip.

Controlador de flujo de masa de gas de la serie Qingdao Core Sheng MF - S500Con un diseño de canal de gas * se puede lograr una configuración flexible de la relación de desviación, el rango de medición cubre 1sccm a 120slm, la precisión mínima de control es de 0,1sccm, y la deriva del rango de temperatura de 0 a 50 grados Celsius es solo de 0,4 a 0,6%. En términos de señales eléctricas, ofrece una variedad de métodos de control digitales y analógicos, y está equipado con pantallas industriales para facilitar la puesta en marcha y configuración in situ de los clientes.
