El procesador de plasma de vacío de cuarzo VPS - qz05 es una pequeña máquina de limpieza de plasma de escritorio desarrollada especialmente para las necesidades del laboratorio. la Sala de procesamiento es de vidrio de cuarzo cilíndrico. el procesador es un tipo de electrodo externo acoplado capacitivamente y no hay electrodos en el Interior.
Introducción del producto
Procesador de plasma de vacío de cuarzo VPS - qz05Es una pequeña máquina de limpieza de plasma de escritorio que necesita ser desarrollada especialmente para el laboratorio. la Cámara de procesamiento es vidrio de cuarzo cilíndrico. el procesador es un tipo de electrodo externo acoplado capacitivamente y no hay electrodos en el Interior. Es decir, la energía de descarga se aplica desde el exterior del procesador, lo que puede evitar la corrosión de los electrodos y la deposición de reactivos en la placa.
Procesador de plasma de vacío de cuarzo VPS - qz05Aplicaciones:Unión pdms, introducción de grupos funcionales específicos, incineración por plasma, modificación hidrofóbica de la superficie, mejora de la adherencia
Procesador de plasma de vacío de cuarzo VPS - qz05característica:No se introducen contaminantes en el proceso de tratamiento, la operación es simple y es adecuada para institutos de investigación, universidades y centros de I + D.

Parámetros del producto
modelo |
VPS-QZ05 |
frecuencia |
13. 56 MHz |
potencia |
0 - 200w ajustable continuamente |
Material de la cavidad |
Cuarzo de alta calidad |
Volumen de la cavidad |
5L |
Tamaño de la cavidad |
Φ150 × 290 (D) mm |
Controlador de flujo de gas |
Controlador de flujo de masa MFC |
Número de rutas de gas |
2 gases, comúnmente o2, ar2, n2, h2, etc. (los gases corrosivos deben personalizarse) |
Sistema de determinación al vacío |
Tubo de silicio al vacío de pilani |
Vacío límite |
1Pa |
modo de control |
LCD + pantalla táctil de 4,3 pulgadas |
Bomba de vacío |
Bomba de aceite / bomba seca (opcional) |
Suministro de energía |
AC220V / 50Hz |
Dimensiones externas |
550mm (L) × 450mm (W) × 500 mm (H) |